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易玉良
作品数:
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供职机构:
北京大学
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王兆江
北京大学
汤雅权
北京大学
于晓梅
北京大学
马盛林
北京大学
刘毅
北京大学
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王兆江
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 高深宽比 感应耦合等离子体 锚点
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刘毅
供职机构:南开大学
研究主题:皇陵 陵墓 明代 电极 陶瓷
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马盛林
供职机构:北京大学
研究主题:键合 通孔 互连结构 制作方法 TSV
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汤雅权
供职机构:北京大学
研究主题:电极 电容式 谐振器 单片集成 亚微米
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于晓梅
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 MEMS
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