2024年8月25日
星期日
|
欢迎来到南京江宁区图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
于晓梅
作品数:
78
被引量:28
H指数:4
供职机构:
北京大学
更多>>
发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
中国博士后科学基金
更多>>
相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
生物学
医药卫生
更多>>
合作作者
张大成
北京大学微电子学研究院
李婷
北京大学微电子学研究院
李修函
北京大学信息科学技术学院微米纳...
刘毅
北京大学
王阳元
北京大学
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
56篇
专利
13篇
期刊文章
7篇
会议论文
2篇
科技成果
领域
21篇
电子电信
9篇
自动化与计算...
2篇
生物学
1篇
医药卫生
1篇
一般工业技术
1篇
理学
主题
16篇
传感
14篇
感器
14篇
传感器
13篇
面阵
13篇
焦平面
13篇
红外
12篇
焦平面阵列
11篇
红外焦平面
11篇
红外焦平面阵...
10篇
电路
10篇
悬臂
10篇
悬臂梁
9篇
单片
9篇
单片集成
9篇
阵列
9篇
刻蚀
8篇
微悬臂梁
7篇
电极
7篇
平面阵
7篇
平面阵列
机构
78篇
北京大学
2篇
北京大学第一...
1篇
北京航空航天...
1篇
中国电子信息...
作者
78篇
于晓梅
25篇
张大成
15篇
李婷
12篇
李修函
11篇
刘毅
9篇
文永正
9篇
王阳元
8篇
汤雅权
7篇
田源
7篇
马盛林
7篇
张海涛
6篇
李博翰
6篇
马蔚
6篇
王兆江
5篇
罗葵
5篇
王颖
5篇
王玮
4篇
田大宇
4篇
阮勇
4篇
易玉良
传媒
3篇
传感技术学报
2篇
功能材料与器...
2篇
中国微米纳米...
1篇
中国优生与遗...
1篇
光学精密工程
1篇
Journa...
1篇
物理学报
1篇
北京大学学报...
1篇
物理
1篇
中国机械工程
1篇
微纳电子技术
1篇
2008年全...
1篇
中国第二十届...
1篇
中国微米纳米...
1篇
第九届全国实...
1篇
中国微米、纳...
年份
3篇
2024
1篇
2023
3篇
2022
2篇
2021
2篇
2020
1篇
2019
1篇
2018
2篇
2016
2篇
2015
4篇
2014
2篇
2013
5篇
2012
6篇
2011
5篇
2010
3篇
2009
12篇
2008
4篇
2007
6篇
2006
6篇
2005
4篇
2004
共
78
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
集成微传感器的制备方法
本发明提供了一种基于SOI技术的集成微传感器的制备方法,属于微机电系统和集成电路技术领域。该方法基于Post-CMOS或Intermediate-CMOS工艺,利用SOI CMOS工艺和SOI微机械加工技术,在SOI硅片...
于晓梅
汤雅权
张海涛
王颖
王玮
文献传递
面向微泵的微型扩散/收缩管的优化设计
被引量:2
2008年
微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化。本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构。基于硅基MEMS技术制备微型扩散/收缩泵,并通过Fluent软件模拟和实验验证了鳞片式扩散/收缩泵可以提高流阻效率11%。
黄杰西
李修函
于晓梅
关键词:
微泵
鳞片
一种单芯片集成三轴力传感器及其制备方法
本发明涉及微机电系统和集成电路技术领域,特别是关于一种单芯片集成式三轴力传感器及其制备方法。集成式三轴力传感器由三轴力传感器和电路系统组成,三轴力传感器由应变体、位于应变体中央的受力体、支撑应变体和受力体的框架、以及嵌入...
于晓梅
林聪
刘意
朱心成
一种制作单晶硅纳米结构的方法
本发明公开了一种制作单晶硅纳米结构的方法,首先根据单晶硅纳米结构的图形在硅衬底上光刻,定义微米级线宽的掩膜图形;然后通过离子注入在掩膜图形外形成重掺杂区域;接着高温退火使注入的离子扩散进入掩膜图形下面的硅材料中,形成中度...
王晓菲
于晓梅
赵安迪
于侃
聚酰亚胺牺牲层工艺的微机械加工技术研究
牺牲层工艺是通过腐蚀或刻蚀牺牲层来制造悬空的梁、膜或空腔结构的技术,广泛应用于MEMS器件与其读出电路的单片集成。可以作为牺牲层的材料主要包括SiN、SiO2和聚酰亚胺,表1为可能的牺牲层与结构层的组合。其中聚酰亚胺材料...
潘程
于晓梅
马盛林
关键词:
聚酰亚胺
微机械加工
文献传递
微型扩散泵及其制备方法
本发明提供了一种微型扩散泵及其制备方法,微型扩散泵主要包括:泵腔室、单向阀、泵入口、泵出口及泵腔室内的驱动结构,单向阀分别位于泵腔室与泵入口之间和泵腔室与泵出口之间,单向阀为正反向流量不同的楔形扩散管,泵腔室内流体在一定...
于晓梅
李修函
张大成
张海涛
李婷
王阳元
文献传递
一种固体介质层谐振器及其制备方法
本发明公开了一种固体介质层谐振器及其制备方法,该固体介质层谐振器的驱动电极和传感电极的极板为梳齿状结构,内嵌在谐振体结构中,谐振体与极板通过固体绝缘介质层隔离。该谐振器的制备基于微机械加工工艺,与IC工艺兼容;梳齿状的极...
刘毅
于晓梅
文献传递
一种偏轴太赫兹超表面反射透镜
本发明提供了一种偏轴太赫兹超表面反射透镜,属于太赫兹技术领域。该偏轴太赫兹超表面反射透镜包括按一定规则排布的谐振单元阵列;调整谐振单元的结构和尺寸,使其反射相位在0~2π之间梯度改变;对偏轴太赫兹超表面反射透镜的相位进行...
于晓梅
缪佳豪
电容读出式红外焦平面阵列的热力学分析
电容读出式红外探测器由于无需制冷和易于单片集成等优异特性而备受关注。该红外焦平面阵列中的每个像元是一个双材料悬臂梁,他由红外吸收面、双材料支腿、热隔离支腿和锚点组成,双材料支腿和热隔离支腿组成像元的支腿,连接红外吸收面至...
李博翰
于晓梅
关键词:
红外焦平面阵列
噪声等效温差
热力学分析
红外探测器
文献传递
一种微纳机电器件中纳米间隙电极的制备方法
本发明提供了一种微纳机电器件中纳米间隙电极的制备方法,属于微纳机电系统领域。该方法选用一种合适的材料做牺牲层,首先采用回刻的方式制备纳米尺度的牺牲层侧墙结构,侧墙需要有一定的高度,再淀积一层薄的金属层或其它电极材料,然后...
于晓梅
于侃
王晓菲
文献传递
全选
清除
导出
共8页
<
1
2
3
4
5
6
7
8
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张