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顾忠华

作品数：43 被引量：5H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
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合作作者

领域

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地区

  • 5个广东省
  • 2个北京市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚桦
供职机构：清华大学研究院
研究主题：化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈高攀
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光液 抛光 离子交换法 机械抛光 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邹春莉
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗桂海
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 CMP 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王宁
供职机构：清华大学研究院
研究主题：化学机械抛光 磨粒 络合剂 微电子 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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