2025年3月29日
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张丽娜
作品数:
3
被引量:11
H指数:2
供职机构:
华中理工大学固体电子学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王宇
华中理工大学固体电子学系
李振香
华中理工大学固体电子学系
王敬义
华中理工大学固体电子学系
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李振香
供职机构:华中理工大学固体电子学系
研究主题:TIN薄膜 氮化钛 反应溅射 溅射制备 动力学研究
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王宇
供职机构:广西科技大学
研究主题:反应溅射 氮化钛 TIN薄膜 溅射制备 硅
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供职机构
所获资助
研究领域
王敬义
供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院电子科学与技术系
研究主题:冷等离子体 硅粉 硅 提纯 反应溅射
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所获资助
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