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李振香

作品数：4 被引量：11H指数：2
供职机构：华中理工大学固体电子学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇氮化
  • 3篇氮化钛
  • 3篇溅射
  • 3篇溅射制备
  • 3篇反应溅射
  • 3篇TIN薄膜
  • 1篇动力学
  • 1篇动力学研究
  • 1篇生长速率
  • 1篇情报
  • 1篇情报工作
  • 1篇情报资料
  • 1篇情报资料工作
  • 1篇高校

机构

  • 4篇华中理工大学

作者

  • 4篇李振香
  • 3篇王敬义
  • 3篇张丽娜
  • 3篇王宇

传媒

  • 3篇微细加工技术
  • 1篇情报探索

年份

  • 3篇1997
  • 1篇1994
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
当前高校系情报资料工作初探
1994年
一、形势对系情报资料室的要求 当前,在建立社会主义市场经济体制的改革中,高等教育必须主动适应社会主义市场经济的需要,积极探索市场经济下的教育运行体制,使教育活动既遵循教育规律,又遵循经济规律,高等学校,特别是工科院校更应利用科技和人才的优势,将教学、科研、生产、实践有机地结合在一起,开发适销对路的新产品。
李振香
关键词：高校情报资料工作情报工作
反应溅射制备TiN薄膜的靶动力学研究被引量：5
1997年
从微观粒子的相互作用和输运出发，探讨靶溅射过程中的基元化学物理步骤，计算了溅射速率和离子能量分布，为深入研究溅射薄膜的生长速率和靶中毒奠定基础。
王敬义王颖陈忠财胡慧娟李振香王宇刘凤堂张丽娜
关键词：反应溅射氮化钛
反应溅射制备TiN薄膜的生长速率模型研究被引量：4
1997年
在分析靶源粒子产生和输运过程基础上，建立了反应溅射TiN薄膜的生长速率方程，按此模型的计算与实验结果基本相符。
王宇张丽娜陈忠财李振香胡慧娟杨剑辉王敬义
关键词：反应溅射生长速率氮化钛
反应溅射制备TiN薄膜的靶中毒模型研究被引量：2
1997年
从靶动力学和粒子输运导出了靶中毒的判据．建立的靶中毒模型能体现工艺参数对靶中毒的影响，从而对解决薄膜高速生长与组份匹配的矛盾，为设计新型无中毒反应室提供了理论依据。
王敬义杨剑辉胡慧娟陈忠财张丽娜李振香王宇王颖
关键词：反应溅射氮化钛
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共1页<1>
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