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雷红
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上海大学
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机械工程
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合作作者
雒建斌
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
陈入领
东华大学机械工程学院
布乃敬
上海大学纳米科学与技术研究中心
潘国顺
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
张鹏珍
上海大学纳米科学与技术研究中心
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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陈入领
供职机构:东华大学机械工程学院
研究主题:抛光液 组合物 抛光 磨粒 计算机硬盘
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布乃敬
供职机构:上海大学
研究主题:抛光 氧化铝 煤矸石 陶瓷 化学机械抛光
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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卢海参
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 CMP 氧化铝 波纹度
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张鹏珍
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 计算机硬盘 抛光液 纳米氧化铈 超精加工
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张泽芳
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 氧化铝 抛光液 抛光 CMP
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徐磊
供职机构:上海大学
研究主题:线程 格子BOLTZMANN方法 材料去除率 多线程 程序语句
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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肖保其
供职机构:上海大学
研究主题:抛光液 化学机械抛光 高精密 CMP 抛光
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