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杨雄

作品数：7 被引量：10H指数：2
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
金春水
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张立超
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 光学镀膜 极紫外 膜厚 镀膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚志华
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 磁控溅射 X射线 参数测量 衍射仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金卫华
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：参数测量 衍射仪 反射系数 多层膜 膜厚
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金伟华
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：遗传算法 光学常数 混合优化算法 单纯形法 椭偏光谱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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