您的位置： 专家智库 > >

戈肖鸿

作品数：35 被引量：50H指数：4
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 55个电子电信
  • 46个自动化与计算...
  • 39个机械工程
  • 30个电气工程
  • 28个理学
  • 21个一般工业技术
  • 18个文化科学
  • 17个金属学及工艺
  • 15个交通运输工程
  • 15个航空宇航科学...
  • 12个化学工程
  • 12个医药卫生
  • 9个建筑科学
  • 8个生物学
  • 6个天文地球
  • 6个动力工程及工...
  • 5个经济管理
  • 5个环境科学与工...
  • 5个兵器科学与技...
  • 3个冶金工程

主题

  • 47个传感
  • 46个感器
  • 46个传感器
  • 43个刻蚀
  • 42个微机械
  • 42个硅
  • 33个离子刻蚀
  • 33个硅片
  • 33个反应离子
  • 31个反应离子刻蚀
  • 30个芯片
  • 28个硅基
  • 27个微机电系统
  • 25个电路
  • 25个阵列
  • 25个深反应离子刻...
  • 24个电极
  • 18个电容
  • 18个多晶
  • 16个多晶硅

机构

  • 52个中国科学院
  • 19个中国科学院上...
  • 10个中国科学院研...
  • 9个华东师范大学
  • 9个浙江大学
  • 6个复旦大学
  • 6个中科院上海微...
  • 4个南京理工大学
  • 2个哈尔滨工业大...
  • 2个上海交通大学
  • 2个苏州大学
  • 2个中国科学院大...
  • 1个工程兵工程学...
  • 1个东京大学
  • 1个国防科学技术...
  • 1个湖南大学
  • 1个华东船舶工业...
  • 1个江苏大学
  • 1个南京大学
  • 1个宁波大学

资助

  • 50个国家自然科学...
  • 41个国家高技术研...
  • 34个国家重点基础...
  • 13个上海市科学技...
  • 11个国家杰出青年...
  • 11个国家科技重大...
  • 11个国家教育部博...
  • 11个国家重点实验...
  • 11个上海市科学技...
  • 10个“上海－应用...
  • 10个上海-AM基...
  • 7个中国博士后科...
  • 7个国家攀登计划
  • 7个上海市教育委...
  • 7个中国科学院知...
  • 6个教育部科学技...
  • 6个上海市自然科...
  • 5个高等学校骨干...
  • 5个国防科技技术...
  • 5个上海市科委纳...

传媒

  • 32个Journa...
  • 25个传感技术学报
  • 24个传感器与微系...
  • 23个功能材料与器...
  • 21个半导体技术
  • 19个仪表技术与传...
  • 16个第八届敏感元...
  • 12个传感器技术
  • 12个机械强度
  • 12个光学学报
  • 11个光电子．激光
  • 11个机械工程学报
  • 11个红外与毫米波...
  • 11个固体电子学研...
  • 11个半导体光电
  • 10个红外与激光工...
  • 10个物理学报
  • 10个电子学报
  • 9个光学精密工程
  • 9个测试技术学报

地区

  • 55个上海市
  • 4个江苏省
  • 4个浙江省
  • 1个北京市
  • 1个福建省
  • 1个广东省
共 66 条 记 录，以下是 1-10
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴燕红
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 电极 应力传感器 空间电荷区 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
豆传国
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：应力传感器 硅 多晶硅 互连 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞正寅
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微泵 传感器件 高深宽比 感应耦合等离子体 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王渭源
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 传感器 微电子机械系统 微机械器件 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共7页<1234567>
聚类工具0