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金伟华

作品数：4 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
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金春水
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张立超
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 光学镀膜 极紫外 膜厚 镀膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘磊
供职机构：中国科学院声学研究所
研究主题：电沉积 遥感 颅内动脉瘤 铜基复合材料 镍合金
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚志华
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 磁控溅射 X射线 参数测量 衍射仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
向鹏
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：残余应力 多层膜 MO/SI多层膜 EUVL 极紫外投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘颖敏
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：残余应力 极紫外 多层膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨雄
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 掩模 极紫外投影光刻 参数测量 衍射仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱宏力
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：遗传算法 光学常数 混合优化算法 单纯形法 椭偏光谱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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