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郝一龙

作品数：235 被引量：413H指数：11
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王阳元
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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吴文刚
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 悬臂梁 各向异性刻蚀 英文 聚焦离子束
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杨振川
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 陀螺 电极 微机械陀螺
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高成臣
供职机构：北京大学
研究主题：热式 声矢量传感器 振速 加速度计 单晶硅
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闫桂珍
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 单片集成
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张大成
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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武国英
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 硅 SOI 微机电系统 陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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陈庆华
供职机构：北京大学
研究主题：微光 玻璃衬底 光反射 光开关 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海霞
供职机构：北京大学
研究主题：发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
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