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胡维
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11
被引量:2
H指数:1
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北京大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
张大成
北京大学
贺学锋
北京大学
李婷
北京大学
王玮
北京大学
阮勇
北京大学
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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贺学锋
供职机构:重庆大学
研究主题:压电 风致振动 压电层 钝体 压电式
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王玮
供职机构:北京大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 芯片 硅基
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阮勇
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 继电器 刻蚀 微机电系统 微电子机械系统
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罗葵
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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郝一龙
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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李静
供职机构:北京大学
研究主题:含钛高炉渣 刻蚀 高深宽比 矿渣水泥 微电子机械系统
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