贺学锋
- 作品数:97 被引量:290H指数:8
- 供职机构:重庆大学更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金高等学校科技创新工程重大项目更多>>
- 相关领域:电子电信建筑科学交通运输工程电气工程更多>>
- 基于MEMS的碰撞式微型压电风能采集器
- 本发明公开了一种基于MEMS的碰撞式微型压电风能采集器,包括底座、固定台、柔性悬臂梁;柔性悬臂梁的一端通过固定台与底座相连;柔性悬臂梁由薄金属片、MEMS压电能量采集单元和管壳构成;MEMS压电能量采集单元设于管壳内并连...
- 贺学锋高军
- 大转角压电扫描微镜
- 本发明公开了一种单片集成的大转角压电扫描微镜,包括微反射镜面、压电微驱动器、角度传感器以及支撑框架,所述反射镜面、压电微驱动器以及支撑框架均制作在同一片硅基底上,反射镜面、压电微驱动器位于支撑框架结构的内部;本发明采用压...
- 温志渝钱蓉蓉陈李温中泉贺学锋
- 一种微型电磁式动能采集器的电源管理电路
- 本发明公开了一种微型电磁式动能采集器的电源管理电路,可用于包含线圈阵列、并具有高输出电压的电磁式动能采集器。该电源管理电路包括主支路和次支路,主支路是由采集器的大部分线圈供电的储能支路,其包含整流模块、DC‑DC转换模块...
- 贺学锋李看看
- 一种宽频带低频微型压电振动能采集系统
- 本发明提出一种宽频带低频微型压电振动能采集系统,由微型压电振动能采集器、底座和滚珠构成。微型压电振动能采集器有两个,固定于底座两侧,底座上设置通孔,孔内放置滚珠,通孔位于两个微型压电振动能采集器的梁之间,通孔开口距离振动...
- 贺学锋
- 一种可拉伸互连线的制造方法
- 本发明公开了一种可拉伸互连线的制造方法。该制造方法具体为:首先,使用倒模法制造出憎水性的高分子聚合物(如PDMS,Ecoflex等)内芯;接着,使用水溶性的PVA纤维对聚合物内芯按照一个方向,对内芯从一端到另一端进行缠绕...
- 万树叶一舟李深贺学锋
- 风致振动能量采集器驱动的无线风速传感器被引量:13
- 2017年
- 针对气象观测、煤矿/隧道/通风管道运行状况监测等的需求,设计了一个由带谐振腔的风能采集器供电的无线风速传感器,该无线传感器包括两个带谐振腔的风能采集器,其中一个用于风能采集,另一个用于风速测量。当风速在特定区间变化时,采集器将发生强烈振动,将风能转换为电能。由于采集器的振动频率随风速单调递减,因此在建立采集器振动频率与风速的关系后,通过测量振动频率就可以实现对风速的测量。实验结果表明,自供能无线风速传感器在8.5~12.1m/s风速范围内可以正常工作,灵敏度为1.45Hz·s/m,当风速为12.1m/s时,自供能无线风速传感器每隔30s可以测量并发送一次风速信息,基本可以满足通风管道运行状况监测的要求。
- 贺学锋齐睿程耀庆张闯尚正国杨晓康
- 关键词:风致振动无线传感风速计
- 微米尺度下键合强度的评价方法和测试结构被引量:8
- 2005年
- 在MEMS器件的设计与加工过程中,键合技术是体硅工艺的一项关键技术。由于MEMS器件的特点,其键合的面积通常是在微米到毫米量级内,传统测试键合强度的方法不再适用,该尺度下键合强度的测试与评价成为MEMS工艺测试的难点之一。文章提出了一种新型的测试结构,对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试。实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力,键合面为常用的正方形,其边长从6μm到120μm,计算得出的剪力与采用实体单元有限元分析结果计算出的作用力相对误差为4.9%,这一误差在工程中是可以接受的。实验得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线。MEMS器件的设计人员可以根据结论曲线,针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积。
- 阮勇贺学锋张大成王阳元
- 关键词:阳极键合键合强度剪切力硅深刻蚀感应耦合等离子体抗扭强度
- 一种碰撞式微型能量采集阵列结构
- 本发明公开了一种碰撞式微型能量采集阵列结构,其主要由基座和固定于基座上的采集单元阵列构成,每个采集单元由柔性带、衬底、压电复合梁、质量块和碰撞挡块构成;质量块通过压电复合梁与衬底连接,碰撞挡块固定于衬底上,衬底通过柔性带...
- 贺学锋
- 一种具备自降温自修复的电极贴片及其制备方法与应用
- 本发明属于凝胶电极材料技术领域,本发明公开了一种具备自降温自修复的电极贴片及其制备方法与应用。本发明将聚二甲基硅氧烷、水溶性颗粒物和固化剂混合,顺次经固化和溶解,得到多孔聚二甲基硅氧烷骨架;将多孔聚二甲基硅氧烷骨架、水凝...
- 万树叶一舟李深万鹏贺学锋
- 测量体硅梁机械特性的片上拉伸试验机
- 微结构及材料的特性与微加工工艺之间存在强烈相关性,测量基于特定工艺的典型微结构的机械参数对基于该工艺的MEMS器件的设计具有较大参考价值。为了在与MEMS器件工作条件相同的条件下测量微结构与材料的机械特性,片上测试结构得...
- 贺学锋张大成方竞
- 关键词:微结构机械特性