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庞炳远
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:区熔 硅单晶 区熔硅单晶 硅单晶生长 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
索开南
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:区熔 少子寿命 硅 区熔硅单晶 SI单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张殿朝
供职机构:天津工业大学
研究主题:区熔 少子寿命 硅单晶 区熔硅单晶 数值模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘洪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:FZ 区熔硅单晶 硅单晶 区熔 电阻率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董军恒
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:电阻率 均匀性 区熔 少子寿命 FZ
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘燕
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:硅 电阻率 区熔 少子寿命 FZ
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何远东
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 翘曲度 表面粗糙度 单晶 清洗液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨洪星
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张伟才
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
栾国旗
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:多晶硅 提纯 真空 SIC 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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