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郭晓龙

作品数：13 被引量：3H指数：1
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景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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徐昕伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：微波 干燥装置 硅片 微细结构 倒伏
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张庆钊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极
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于明岩
供职机构：哈尔滨理工大学
研究主题：气体传感器 微波 干燥装置 硅片 微细结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张永奎
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 电子设备 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李琳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：超浅结 靶材 暗电流 分子 修饰
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱慧珑
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：二次谐波 临界态 光刻胶 硅片 厚层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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