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武英
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H指数:1
供职机构:
清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
机械工程
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合作作者
向东
清华大学机械工程学院精密仪器与...
高建刚
清华大学机械工程学院精密仪器与...
刘学平
清华大学机械工程学院精密仪器与...
段广洪
清华大学机械工程学院精密仪器与...
汪劲松
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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高建刚
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:拆卸 与或图 产品拆卸 复合材料 非金属材料
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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向东
供职机构:清华大学
研究主题:测试向量 自适应路由 扫描链 路由方法 无死锁
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汪劲松
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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刘学平
供职机构:清华大学
研究主题:喷嘴 显影 流道 显影液 基台
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