2025年2月8日
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姚汉民
作品数:
175
被引量:242
H指数:8
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
中国科学院知识创新工程
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相关领域:
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机械工程
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合作作者
陈旭南
中国科学院光电技术研究所
胡松
中国科学院光电技术研究所
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
陈献忠
中国科学院光电技术研究所
余国彬
中国科学院光电技术研究所
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陈旭南
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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所获资助
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陈献忠
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 纳米结构制作 原子光刻 原子 激光驻波场
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研究领域
余国彬
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
发表作品
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刘业异
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 投影光刻机 投影光刻物镜
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杜春雷
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
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供职机构
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李展
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
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张晓玉
供职机构:兰州大学
研究主题:光子晶体 二维光子晶体 反应离子刻蚀 空气柱 微细加工技术
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所获资助
研究领域
石建平
供职机构:安徽师范大学
研究主题:原子束 光子晶体 光刻分辨力 金属薄膜 纳米结构制作
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