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许高博
作品数:
149
被引量:11
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
中国科学院科研装备研制项目
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
理学
金属学及工艺
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合作作者
徐秋霞
中国科学院微电子研究所
殷华湘
中国科学院微电子研究所
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
傅剑宇
中国科学院微电子研究所
丁明正
中国科学院微电子研究所
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
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丁明正
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:探测器 硅基 击穿电压 暗电流 晶圆
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傅剑宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:探测器 刻蚀 硅基 悬臂梁 衬底
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张青竹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 纳米线 叠层 衬底
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周华杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化
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朱慧珑
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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