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陈大鹏

作品数：674 被引量：449H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 495篇专利
  • 144篇期刊文章
  • 31篇会议论文
  • 2篇学位论文
  • 2篇科技成果

领域

  • 124篇电子电信
  • 59篇自动化与计算...
  • 21篇机械工程
  • 17篇理学
  • 15篇交通运输工程
  • 14篇一般工业技术
  • 6篇经济管理
  • 4篇文化科学
  • 3篇生物学
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇核科学技术
  • 2篇化学工程
  • 2篇电气工程
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 114篇红外
  • 113篇半导体
  • 81篇半导体器件
  • 76篇刻蚀
  • 69篇传感
  • 61篇感器
  • 61篇传感器
  • 58篇光刻
  • 56篇面阵
  • 52篇焦平面
  • 51篇非制冷
  • 49篇非制冷红外
  • 47篇栅极
  • 46篇金属
  • 45篇红外成像
  • 45篇衬底
  • 44篇氮化硅
  • 44篇焦平面阵列
  • 42篇光学
  • 38篇金属栅

机构

  • 627篇中国科学院微...
  • 52篇中国科学技术...
  • 30篇中国科学院
  • 17篇中国科学院大...
  • 16篇中北大学
  • 14篇江苏物联网研...
  • 14篇无锡物联网创...
  • 5篇中国科学院研...
  • 3篇清华大学
  • 2篇北京师范大学
  • 2篇南开大学
  • 2篇北京航空航天...
  • 2篇山东大学
  • 2篇宏观经济研究...
  • 2篇中国科学院空...
  • 2篇昆山微电子技...
  • 1篇北京科技大学
  • 1篇北京空间飞行...
  • 1篇北京理工大学
  • 1篇深圳大学

作者

  • 674篇陈大鹏
  • 175篇叶甜春
  • 116篇焦斌斌
  • 111篇殷华湘
  • 106篇欧毅
  • 68篇徐秋霞
  • 58篇赵超
  • 54篇李庆
  • 53篇王文武
  • 52篇张青川
  • 51篇景玉鹏
  • 49篇王玮冰
  • 41篇伍小平
  • 41篇刘瑞文
  • 39篇谢常青
  • 38篇李俊峰
  • 38篇董立军
  • 35篇孔延梅
  • 34篇明安杰
  • 31篇毛海央

传媒

  • 21篇电子工业专用...
  • 9篇微纳电子技术
  • 8篇实验力学
  • 7篇红外与激光工...
  • 7篇Journa...
  • 7篇微细加工技术
  • 6篇红外与毫米波...
  • 5篇物理学报
  • 5篇核技术
  • 5篇计算机科学
  • 5篇第十一届全国...
  • 3篇半导体技术
  • 3篇发光学报
  • 3篇光电工程
  • 3篇微电子学
  • 2篇半导体情报
  • 2篇光学学报
  • 2篇光子学报
  • 2篇微电子学与计...
  • 2篇计算机应用研...

年份

  • 8篇2024
  • 6篇2023
  • 12篇2022
  • 19篇2021
  • 25篇2020
  • 19篇2019
  • 32篇2018
  • 32篇2017
  • 57篇2016
  • 33篇2015
  • 45篇2014
  • 72篇2013
  • 56篇2012
  • 35篇2011
  • 23篇2010
  • 32篇2009
  • 39篇2008
  • 32篇2007
  • 22篇2006
  • 29篇2005
共 674 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光学读出红外传感器
本发明是一种光学读出红外传感器，包括固定在支撑梁上的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和吸热反光板，热变形机构形成折转式分布；其特征在于：热变形机构为两层，由上层和下层连续回折构成；上层的初级与吸热反光板连接、下层的末级...
张青川伍小平陈大鹏
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半导体器件制造方法
本发明公开了一种半导体器件制造方法，包括步骤：在衬底上形成栅极堆叠结构；执行第一离子注入，在栅极堆叠结构两侧的衬底中注入第一掺杂离子；在衬底和栅极堆叠结构上淀积金属层；执行第一退火，金属层与衬底反应形成金属硅化物的源漏区...
罗军邓坚赵超钟汇才李俊峰陈大鹏
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一种气敏传感器标定和可靠性测试系统
本发明涉及气敏传感器测试技术领域，公开了一种气敏传感器标定和可靠性测试系统，该系统包括进气单元、气体流量监控及组分控制单元、气体混合腔、真空测试腔和传感器电参量测量装置；所述进气单元中的气体在气体流量监控及组分控制单元的...
黄钦文陈大鹏景玉鹏欧毅叶甜春
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双材料悬臂梁应力匹配方法
本发明提供了一种双材料悬臂梁的应力匹配方法，包括：在衬底上形成第一下层薄膜，具有第一应力和第一厚度；在第一下层上形成第二下层薄膜，具有第二应力和第二厚度，其中第一下层和第二下层为不同方法形成的同种材料；在第二下层上形成上...
刘瑞文焦斌斌李志刚陈大鹏
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硅腐蚀局部终止层制作方法
本发明公开了一种硅腐蚀局部终止层制作方法，包括：在含硅的衬底中形成双槽结构，双槽结构之间的衬底构成硅基热沉；对双槽结构底部进行垂直离子注入；执行高温激活和扩散工艺，使得注入的离子在双槽结构底部形成闭合的重掺杂区，所述重掺...
尚海平焦斌斌刘瑞文陈大鹏李志刚卢迪克
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光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板
光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板，其结构形式是以非金属红外吸收膜为下层、以金属镀层为上层，形成单层膜结构；其结构特征是在所述红外吸收膜的底部，设置抗弯曲加强筋，所述抗弯曲加强筋与所述非金属红外吸收膜为同种材质...
史海涛张青川陈大鹏焦斌斌伍小平
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后栅工艺移除多晶硅假栅制程的监控方法
本发明提供了一种后栅工艺移除多晶硅假栅制程的监控方法，包括以下步骤：在晶圆表面形成多晶硅假栅结构以及测试结构；确定测试结构密度量测目标及误差范围；使用XRR设备测量测试结构的密度，判断多晶硅假栅是否完全移除。该技术可以有...
杨涛赵超李俊峰闫江陈大鹏
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一种可集成的纳米结构红外光源
本发明公开了一种可集成的纳米结构红外光源，利用MEMS/CMOS工艺，对非晶硅表面进行纳米修饰加工，形成锥状纳米结构，再对锥状纳米结构进行TiN镀层加工；最后采用正面XeF<Sub>2</Sub>释放技术，对硅衬底进行深...
谭秋林陈媛靖熊继军薛晨阳张文栋刘俊毛海央明安杰欧文陈大鹏
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采用KOH溶液的硅基MEMS器件湿法释放方法
一种采用KOH溶液的硅基MEMS器件湿法释放方法，硅基MEMS器件具有硅衬底，硅衬底的上表面有已经制备完成的电路结构层，该方法包括以下步骤：对硅衬底的下表面进行机械抛光，在硅衬底的下表面形成有机械损伤层；先采用光刻胶覆盖...
尚海平焦斌斌卢迪克李志刚刘瑞文陈大鹏
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多栅器件的形成方法
一种多栅器件的形成方法，包括：提供半导体衬底；对所述半导体衬底进行刻蚀以形成凸出的鳍部；对所述鳍部底部的半导体衬底进行刻蚀，在所述鳍部和半导体衬底之间形成空隙；形成介质层，覆盖所述半导体衬底和鳍部，并填充所述空隙；对所述...
殷华湘徐秋霞陈大鹏
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