2024年8月22日
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张菊芳
作品数:
47
被引量:62
H指数:4
供职机构:
中国科学院高能物理研究所
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发文基金:
北京市自然科学基金
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合作作者
伊福廷
清华大学机械工程学院精密仪器与...
韩勇
中国科学院高能物理研究所
彭良强
北京机电研究所
黄军容
北京工业大学
谢常青
中国科学院微电子研究所
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伊福廷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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韩勇
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 微细加工 掩模 电火花加工 LIGA
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彭良强
供职机构:中国科学院
研究主题:LIGA技术 微细加工 电火花加工 LIGA 微细电火花加工
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黄军容
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 PMMA 微细加工 微细电火花加工 电火花加工
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 MEMS 沟道 焦平面阵列
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侯凤杰
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:硅 光刻 雾化器 光纤阵列 雾化
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吴自玉
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:X射线 XANES 光栅 成像方法 单色器
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晋明
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 夹钳 掩模 微细加工 聚甲基丙烯酸甲酯
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