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韩勇: 作品数：62 被引量：83H指数：5; 供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>; 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>; 相关领域：电子电信理学核科学技术机械工程更多>>

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LIGA—EDM复合技术的研究: 2001年; 提出LIGA-EDM复合技术技术，即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术，通过同步辐射尝试光刻得到的胶结构厚度达2mm深宽比约为100，使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工县电极，利用该电极进行微细电火花加工实验，在不锈钢上加工出异形小孔阵列．; 彭良强伊福廷张院春邹丽芸李勇张菊芳韩勇; 关键词：微加工电铸微机械微细电火花加工

X光纳米充刻掩模的离子束制备法: 2001年; 重离子柬轰击聚碳酸酯后．对样品进行陈化和紫外线照射数化，在优化条件下蚀刻后得到纳米孔径核孔膜。利用电化学沉积技术在核孔膜中制备了最小孔径为30纳米的铜纳米线。获得的钥纳米线／聚碳酸酯可以作为x光纳米光刻的腌膜。; 韩勇彭良强巨新伊福廷张菊芳吴自玉; 关键词：X光光刻纳米线掩模电化学沉积高能重离子

用于软X射线磁圆二色的低温样品操纵台: 本发明提出一种用于软X射线磁圆二色(XMCD)低温样品操纵台，包括：接线腔体，具有上端和下端；XYZ三维移动台，安装在XMCD超高真空腔体上，所述接线腔体的下端安装在所述XYZ三维移动台上；液氮冷却装置，连接于所述接线腔...; 郭志英洪才浩邢海英郑雷唐坤韩勇马陈燕徐伟陈栋梁赵屹东

质子LIGA工艺的探讨: 提出采用掩模法的质子LIGA方法,即利用厚胶光刻产生掩模,然后进行质子束深度刻蚀,显影获得微结构.根据TRIM96程序进行模拟计算,结果表明该方法可以获得深度达数毫米、深度比为30以上的微结构.利用通常的LIGA工艺制备...; 彭良强徐韬光韩勇伊福廷张菊芳; 关键词：微细加工质子束微型机电系统; 文献传递

弱谐波情况下透射光栅衍射效率标定方法被引量：1: 2014年; 同步辐射光源中的高次谐波会使透射光栅衍射效率标定精度变差.为了校正光源中的高次谐波对透射光栅衍射效率标定的影响,提出了一种光源存在弱谐波情况下的透射光栅衍射效率标定方法,通过使用谐波X射线的衍射效率修正基波衍射效率标定中谐波的影响,从而得到更为准确的透射光栅衍射效率.使用该标定方法在北京同步辐射光源上开展了透射光栅相对衍射效率标定工作.实验结果表明：在100～800eV存在高次谐波能段,修正后透射光栅一级与零级的相对衍射效率与理论模拟结果吻合较好,修正后光栅二级与一级的相对衍射效率更接近理论模拟结果,但与理论模拟结果仍有较大偏差,该偏差主要来源光栅较弱的二级衍射.; 朱托尚万里杨家敏熊刚赵阳张文海况龙钰赵屹东崔明启郑雷韩勇周克瑾马陈燕; 关键词：透射光栅衍射效率

具有步进电机控制和定标器功能的PC机接口板: 研制了具有步进电机控制和定标器两种功能的PC机接口板．编写了相应的驱动程序．并在北京同步辐射实验室(BSRF)形貌学实验站用于四刀狭缝的控制和衍射数据的获取．; 王功利蒋建华田玉莲韩勇; 关键词：步进电机控制定标器接口

50 nm X射线光刻掩模制备关键技术: 2004年; X 射线光刻(XRL)采用约 1nm 波长的 X 射线，是一种接近式光刻。就光刻工艺性能而言，XRL 能同时实现高分辨率、大焦深、大像场等，是其他光刻手段难以比拟的。由于不需要辅助工艺，因而工艺成本很低。掩模制造技术是 XRL 开发中最为困难的部分。本文介绍了适用于 50 nm XRL 的掩模制备的关键技术。; 董立军陈大鹏谢常青韩敬东叶甜春伊福廷彭良强韩勇张菊芳; 关键词：X射线光刻掩模金刚石吸收体

上海工业区大气颗粒物中硫的化学形态和分布被引量：5: 2009年; 用低压冲击式采样器(DLPI)采集了上海工业区和郊区大气中28nm～9.92μm粒径范围的颗粒物样品,用同步辐射X射线吸收近边结构谱(XANES)和X射线荧光分析(SRXRF)对样品中硫的化学形态和含量进行了研究.结果表明,粗颗粒物和细颗粒物中的硫,大部分以硫酸盐形式存在;超细颗粒物中除了硫酸盐硫之外,一部分硫以低价的还原态形式存在,可能的化学形态为金属硫化物、噻吩类有机硫化物.细粒子中硫的质量浓度高于粗颗粒,约70%的硫分布在细粒子中.硫的质量浓度呈多模态分布.工业区的超细颗粒物峰值出现在0.091～0.154μm;细颗粒的分布为积聚模,峰值出现在0.38～0.611μm;粗颗粒分布为粗模态,在1.59～3.98μm和6.57～9.92μm出现2个峰值.郊区的超细颗粒物中硫的质量分布不存在峰值;积聚模出现两个亚模态,分别为峰值在0.261～0.380μm的"凝结模态"和峰值在0.611～0.945μm的"液滴模态";粗模态峰值在2.38～6.57μm.污染来源和颗粒物形成、转换机制以及不同采样时间的气象条件差异决定了2个地区颗粒物中硫的分布特性,工业区颗粒物中硫的来源有海盐源的贡献,而郊区较少受海洋源的影响.; 包良满张元勋李晓林李燕刘卫赵屹东马陈燕韩勇; 关键词：大气颗粒物硫粒径分布

一种变包含角单色器的光谱标定方法: 本发明公开了一种变包含角单色器的光谱标定方法，在所述出光狭缝后设置一电离室以采集该电离室中工作气体的特征吸收谱；固定所述变包含角单色器的包含角，转动光栅直至所述电离室采集到该工作气体的指定吸收谱线，记录相应吸收谱线下所述...; 唐坤赵屹东郑雷马陈燕韩勇郭志英鞠在强

利用背面曝光技术制造大高宽比SU8结构的一种新方法(英文)被引量：1: 2004年; 提出了一种解决大高宽比 SU 8结构的新方法 .该方法是将 SU 8胶涂在一块掩模上 ,紫外光从掩模的背面照射 ,这样 SU 8胶的曝光将从底部开始 ,不需要进行过曝光来保证底部胶的曝光剂量 ,从而很容易控制曝光剂量和SU 8胶结构的内应力 .实验结果表明 ,该方法能够得到高宽比为 32的 SU 8结构 ,而文献报道的 SU 8胶结构的高宽比最大仅为; 伊福廷缪鹏彭良强张菊芳韩勇; 关键词：MEMS 微加工