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席峰

作品数：27 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信交通运输工程自动化与计算机技术机械工程更多>>

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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
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张庆钊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极
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李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡冬冬
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：进气结构 启辉 刻蚀系统 刻蚀工艺 室内气流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘训春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：晶体管 HBT 电子束曝光 INP 英文
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汪明刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
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王佳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：微电子技术 微电子 启辉 真空室 衬底温度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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