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卢增雄
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H指数:5
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中国科学院光电研究院
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齐月静
北京市准分子激光工程技术研究中...
王宇
中国科学院光电研究院
苏佳妮
北京市准分子激光工程技术研究中...
齐威
北京市准分子激光工程技术研究中...
杨光华
中国科学院光电研究院
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齐月静
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:波像差 哈特曼波前传感器 投影物镜 光学系统 准直物镜
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王宇
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:准分子激光器 分子激光器 激光 波像差 分压
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苏佳妮
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:波像差 哈特曼波前传感器 光学系统 准直物镜 投影物镜
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齐威
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:哈特曼波前传感器 准直物镜 光源 波像差 哈特曼传感器
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杨光华
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:哈特曼波前传感器 波像差 光源 光学系统 光刻机
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周翊
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:准分子激光器 分子激光器 激光器 激光 放电区
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李兵
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:色散 单色 白光 光谱仪 工作波长
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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张清洋
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:波像差 白光 光谱仪 色散 掩模板
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孟庆宾
供职机构:中国科学院光电研究院
研究主题:哈特曼波前传感器 衍射 共焦 物镜 微孔
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