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苏佳妮

作品数：59 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 57篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 9篇机械工程
  • 5篇理学
  • 4篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 22篇感器
  • 22篇传感
  • 22篇传感器
  • 20篇光学
  • 19篇物镜
  • 18篇波前
  • 18篇波前传感器
  • 15篇波像差
  • 14篇激光
  • 13篇光束
  • 12篇哈特曼波前传...
  • 11篇光学系统
  • 10篇准直
  • 10篇准直物镜
  • 9篇投影物镜
  • 9篇激光器
  • 9篇光刻
  • 8篇衍射
  • 6篇在线检测
  • 6篇在线检测装置

机构

  • 59篇中国科学院光...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 59篇齐月静
  • 59篇苏佳妮
  • 54篇王宇
  • 51篇卢增雄
  • 38篇齐威
  • 37篇杨光华
  • 28篇周翊
  • 14篇刘广义
  • 11篇李兵
  • 8篇张清洋
  • 7篇孟庆宾
  • 4篇彭卓君
  • 3篇梅东滨
  • 3篇王魁波
  • 2篇刘斌
  • 2篇丁金斌
  • 1篇高斐

传媒

  • 1篇中国激光
  • 1篇光学学报

年份

  • 3篇2024
  • 2篇2023
  • 2篇2020
  • 5篇2019
  • 15篇2018
  • 15篇2017
  • 3篇2016
  • 6篇2015
  • 6篇2014
  • 2篇2013
共 59 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光刻光源传输光路系统的辅助调整装置
本实用新型提供了一种光刻光源传输光路系统的辅助调整装置，该辅助调整装置包括能够分别安装在不同的所述反射镜装置上的第一辅助架和第二辅助架，第一辅助架的前端表面设有透光的标记部，标记部位于第一辅助架的中心，第一辅助架的后端设...
苏佳妮齐月静王宇卢增雄杨光华齐威
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一种光谱共焦测量系统在线标定装置
本实用新型公开了一种光谱共焦测量系统在线标定装置，该装置包括白光宽光谱光源、滤光片、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、位移传感器、光谱仪和计算机，通过转动滤光片的滤光片轮，让白光宽光谱光源发出...
齐月静卢增雄杨光华齐威苏佳妮张清洋李兵王宇
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一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法
本发明是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法，是采用夏克-哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克-哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形...
卢增雄梅东滨齐月静孟庆宾刘广义齐威苏佳妮周翊王宇
激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法
本发明公开了一种激光光束空间相干长度测量装置及其测量方法，涉及光学测量技术领域。本发明提出的激光光束空间相干长度测量装置采用具备非等间距排列的多孔阵列板，通过探测器采集多孔衍射波前的干涉图，只需单次测量，便可测得激光光束...
卢增雄齐月静王宇齐威杨光华苏佳妮周翊
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一种光谱共焦测量系统标定装置
本实用新型公开了一种光谱共焦测量系统标定装置，该装置包括可调谐激光器、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、位移台、位移传感器、光谱仪和计算机。该装置以可调谐激光器发出的波长已知的单色光作为光谱共...
卢增雄齐月静王宇刘广义齐威苏佳妮杨光华李兵
一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法
本发明是关于一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法，是采用夏克‑哈特曼波前传感器法进行微孔衍射波前质量的测量。其通过高精度平面参考波前实现夏克‑哈特曼波前传感器的高精度标定，再根据高精度系统误差的标定结果进行微孔衍射波前形...
卢增雄梅东滨齐月静孟庆宾刘广义齐威苏佳妮周翊王宇
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一种微位移测量装置
本实用新型提出一种微位移测量装置，该装置包括白光宽光谱光源、双分支光纤、光纤出射光束、色散物镜、色散物镜出射光束、待测物、光纤连接器、多分支光纤、光谱仪和计算机。本实用新型通过采用多个固定光栅的微型光谱仪，在提高系统分辨...
王宇卢增雄齐月静苏佳妮齐威杨光华张清洋李兵
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一种基于夏克-哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法
本发明公开了一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置和测量方法，该装置包括波长可调谐激光器、衰减器、聚焦物镜、Y型光纤耦合器、第一五维调整台、第一物镜、第一小孔板、准直物镜、分光板、第一夏克‐哈特曼波前传感...
齐月静卢增雄齐威苏佳妮杨光华张清洋李兵王宇
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一种光学系统波像差测量装置与测量方法
本发明公开了一种光学系统波像差测量装置和方法，装置包括线偏振平面波发生源、1/2波片、偏振分光棱镜、1/4波片、反射装置以及夏克-哈特曼波前传感器，线偏振平面波发生源用于产生线偏振平面波；1/2波片用于将线偏振平面波转换...
卢增雄齐月静苏佳妮杨光华周翊王宇
一种基于全反射原理的液体透过率测量装置
本实用新型提出一种基于全反射原理的液体透过率测量装置，所述测量装置顺次包括光源，第一光学棱镜，样品管，第二光学棱镜，所述测量装置还包括用于移动第一光学棱镜的第一精密位移台，用于移动第二光学棱镜的第二精密位移台，探测系统，...
苏佳妮齐月静齐威卢增雄杨光华王宇
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