2025年3月6日
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田雷
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7
被引量:26
H指数:3
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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国家高技术研究发展计划
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合作作者
刘智辉
中国电子科技集团公司第四十九研...
尹延昭
中国电子科技集团公司第四十九研...
田丽
哈尔滨工业大学
苗欣
中国电子科技集团公司第四十九研...
李海博
中国电子科技集团公司第四十九研...
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刘智辉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:充油式 充油 高温高压 复合传感器 温度补偿
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田丽
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:微流控芯片 毛细管电泳芯片 电泳芯片 芯片 有机玻璃
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尹延昭
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:SOI 压力传感器 高温压力传感器 高温 绝缘层上硅
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张精华
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:MEMS 压阻式 硅微加速度计 等离子体刻蚀 传感器
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孙立宁
供职机构:苏州大学
研究主题:机器人 压电陶瓷 并联机器人 柔性铰链 微操作
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吴亚林
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:MEMS 压阻式 硅微加速度计 等离子体刻蚀 键合
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王永刚
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:CMOS 加速度传感器 单片 MEMS 微机电系统
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陈伟平
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:微机械陀螺 MEMS 传感器 加速度计 英文
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侯占民
供职机构:中国电子科技集团
研究主题:传感器 补偿方法 压力传感器 单晶硅 温度漂移
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敖明胜
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:ANSYS软件 激光诱导荧光 毛细管电泳芯片
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