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田丽

作品数：55 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信文化科学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 28个电子电信
  • 26个自动化与计算...
  • 20个机械工程
  • 19个电气工程
  • 19个理学
  • 18个一般工业技术
  • 18个文化科学
  • 15个金属学及工艺
  • 10个经济管理
  • 10个化学工程
  • 9个交通运输工程
  • 7个农业科学
  • 6个建筑科学
  • 6个航空宇航科学...
  • 6个医药卫生
  • 5个动力工程及工...
  • 5个环境科学与工...
  • 5个自然科学总论
  • 4个天文地球
  • 4个矿业工程

主题

  • 27个永磁
  • 27个光刻
  • 27个光刻机
  • 26个大行程
  • 26个六自由度
  • 25个微动台
  • 24个三自由度
  • 24个工件台
  • 22个电机
  • 20个掩模
  • 17个电路
  • 16个导轨
  • 16个信号
  • 16个掩膜
  • 16个衍射
  • 15个叠层
  • 13个弹簧
  • 13个电动机
  • 13个电流
  • 13个动量

机构

  • 36个清华大学
  • 2个电子科技大学
  • 2个华中科技大学
  • 2个南京航空航天...
  • 2个上海交通大学
  • 1个北京工业职业...
  • 1个德克萨斯理工...
  • 1个华东理工大学
  • 1个南京理工大学
  • 1个北京理工大学
  • 1个华东交通大学
  • 1个天津大学
  • 1个武汉科技大学
  • 1个中国矿业大学
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个华中理工大学
  • 1个谢菲尔德大学
  • 1个中国科学院生...
  • 1个北京机床研究...

资助

  • 20个国家自然科学...
  • 15个国家重点基础...
  • 14个中国博士后科...
  • 13个国家高技术研...
  • 10个国家科技重大...
  • 9个北京市自然科...
  • 9个国家重点实验...
  • 6个国家教育部博...
  • 4个国家科技支撑...
  • 3个光电技术及系...
  • 3个国家部委资助...
  • 3个面向21世纪...
  • 3个清华大学校科...
  • 2个国家教育部“...
  • 2个国家科技攻关...
  • 2个国家社会科学...
  • 2个湖北省自然科...
  • 2个清华大学基础...
  • 2个北京市科技计...
  • 2个江苏高校优势...

传媒

  • 14个清华大学学报...
  • 12个机械工程学报
  • 9个机床与液压
  • 9个中国电机工程...
  • 8个电工技术学报
  • 8个系统仿真学报
  • 7个中国机械工程
  • 7个组合机床与自...
  • 7个机械科学与技...
  • 6个光学精密工程
  • 6个制造技术与机...
  • 6个机械设计与制...
  • 5个机械强度
  • 5个润滑与密封
  • 5个微电机
  • 4个计算机集成制...
  • 4个电机与控制学...
  • 4个半导体技术
  • 4个压力容器
  • 4个微特电机

地区

  • 33个北京市
  • 1个湖北省
  • 1个江苏省
  • 1个广东省
共 36 条 记 录，以下是 1-10
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许岩
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 掩模 基台 光学透镜 模版
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汪劲松
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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张利
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 掩膜 大行程 套刻精度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆海华
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
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