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施玉书
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中国计量科学研究院
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合作作者
高思田
天津大学精密仪器与光电子工程学...
李伟
中国计量科学研究院
李琪
中国计量科学研究院
李适
中国计量科学研究院
张树
中国计量科学研究院
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高思田
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 激光干涉仪 探针
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李伟
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 扫描探针 测头
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李琪
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 校准 扫描探针 探针 粒径测量
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李适
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:校准 计量学 扫描探针 大行程 纳米级
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张树
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 激光干涉 测量过程 大行程 校准
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黄鹭
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 粒径测量 校准 纳米
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皮磊
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 激光干涉 表面粗糙度 校准 测量过程
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卢明臻
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 激光干涉仪 干涉仪 纳米
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杜华
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 校准 激光干涉仪 膜厚
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王鹤群
供职机构:中国计量科学研究院
研究主题:计量学 原子力显微镜 三维形貌 校准 线宽测量
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