张树
- 作品数：55 被引量：59H指数：5
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：中央级公益性科研院所基本科研业务费专项中国计量科学研究院基本科研业务费项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 用于微纳米位移定位校准的双溯源链路计量标准装置的建立
- 2025年
- 微纳米定位技术是前沿科学和工程技术领域的关键技术之一,其中微纳米定位平台的位移校准在精密测量领域中占据重要地位,中国计量科学研究院研制了用于微纳米位移定位校准的双溯源链路计量标准装置,并建立为我国计量标准。该装置包含激光干涉法微纳米位移定位校准装置与光栅衍射干涉法微纳米位移定位校准装置,其中激光干涉法校准装置通过六自由度激光干涉校准系统实现了纳米微位移平台直接全面校准,在该溯源链路中量值通过激光干涉仪溯源至米定义的波长基准;光栅衍射干涉法校准装置以一维纳米光栅标准物质为核心,在该溯源链路中量值通过光栅栅距溯源至米定义的波长基准。双溯源链路计量标准装置满足了微纳米定位校准的多样化应用需求并增强溯源方式的全面性和可靠性,保证了集成电路领域光刻等微纳米级位移的高精度测量、航空航天工业关键部件的精密装配测量,该计量装置的建立为我国微纳米定位技术的发展提供了重要的技术支撑。
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- 关键词：计量学光栅标准物质
- 用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置
- 本实用新型公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调...
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- 文献传递
- 基于激光干涉与电容传感复合校准技术的纳米微动台分辨力评价方法研究被引量：1
- 2023年
- 激光干涉仪测量纳米级分辨力时,因环境等因素的干扰测量具有局限性,电容传感器可较好地对抗这种干扰,但存在无溯源性、非线性误差的缺点。为实现纳米级分辨力的量值溯源,保障量值准确性,采用激光干涉仪对电容传感器进行校准,从而形成纳米微动台-电容传感器-激光干涉仪的完成溯源链。通过量值溯源实验可知,在10 nm步进下电容传感器与激光干涉仪测量量值最大偏差为0.8 nm;电容传感器分辨力校准实验中,纳米位移台分辨力为2 nm。上述结果说明此校准方法具有一定的可行性和实用性。
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- 关键词：激光干涉仪
- 一种纳米位移台六自由度校准装置
- 本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量...
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- 文献传递
- 一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法
- 本发明公开一种用于探测亚表面深度的标定板及其制备方法，涉及光学标定领域，该标定板包括：楔形玻璃、样品颗粒和固定装置；其中，楔形玻璃包括相互平行的第一侧面和第二侧面，相互垂直的第一平面和第二平面，以及一个斜面；第一侧面和第...
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- 一种双激光干涉纳米级定位测量系统
- 本发明公开了一种双激光干涉纳米级定位测量系统，包括：光源、第一分束棱镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、第二分束棱镜、标量干涉光采集模块、矢量干涉光采集模块和位移计算模块。本发明中的光电探测器采集待测物体位置移动过程中的反射...
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- 一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构
- 本实用新型公开一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构，主要包括用于转换光路的落射照明盒、支撑零部件用的笼杆、安装各种透镜的笼板、光圈可调的可变光阑以及安装并调节紫外光源用的光学调整架。通过调节安装透镜的笼板和安装紫外光...
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- 文献传递
- 一种用于长度测量校准的标准器组
- 本实用新型公开了一种用于长度测量校准的标准器组，其包括底座、支撑棒和标准球，所述底板上设置有若干通孔，所述支撑棒的一端设置在所述通孔中，所述支撑棒的另一端设置有一球窝，所述标准球设置在所述球窝内，所述标准球与所述球窝底面...
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- 文献传递
- 一种旋转平台及多倍程平面干涉角度测量系统
- 本发明公开一种旋转平台，包括固定基座、转台和两个驱动器，固定基座的上表面开设有与转台形状相匹配的凹槽，转台可转动嵌置安装在凹槽内；转台包括中心圆形转子，中心圆形转子的两侧对称设置有两个旋转臂，两个驱动器以中心圆形转子的圆...
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- 文献传递
- 一种表面微观形貌测量传感器
- 本实用新型公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，...
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