2025年4月4日
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赵冶
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6
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清华大学
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中国博士后科学基金
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机械工程
自动化与计算机技术
金属学及工艺
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合作作者
朱煜
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐登峰
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李叶茂
清华大学
赵彬
清华大学
张鸣
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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李叶茂
供职机构:清华大学
研究主题:回水温度 供热系统 温度监测 集中供暖 海水淡化装置
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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赵彬
供职机构:清华大学建筑学院建筑技术科学系
研究主题:数值模拟 计算流体力学 气流组织 风口模型 室内空气流动
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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潘尚峰
供职机构:清华大学
研究主题:重型机床 科普 再制造 夹具 在线检测
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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尤政
供职机构:清华大学
研究主题:超级电容器 星敏感器 MEMS 微机电系统 太阳敏感器
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