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杨飞
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中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
文化科学
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合作作者
陈岚
中国科学院微电子研究所
李志刚
中国科学院微电子研究所
马天宇
中国科学院微电子研究所
阮文彪
中国科学院微电子研究所
周隽雄
中国科学院微电子研究所
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陈岚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 冗余
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马天宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:互连线 冗余 版图 集成电路版图 化学机械抛光
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阮文彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:冗余 版图 集成电路版图 金属 版图设计
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李志刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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周隽雄
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属 耦合电容 版图设计 集成电路制造工艺 集成电路
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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徐勤志
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:研磨 研磨液 CMP 化学机械研磨 晶圆
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方晶晶
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
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刘建云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:研磨液 研磨 CMP 平坦性 表面形貌
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