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方辉

作品数：2 被引量：0H指数：0
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共 5 条 记 录，以下是 1-5
罗仲梓
供职机构：厦门大学
研究主题：射频MEMS开关 PECVD 键合 芯片 微通道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何熙
供职机构：天津大学材料科学与工程学院
研究主题：SIO2 SIO PECVD 红外探测器 结构优化
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谷丹丹
供职机构：厦门大学
研究主题：微机电系统 压力传感器 液相 分离式 硅基
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李文杰
供职机构：厦门大学
研究主题：氧化铟锡薄膜 电阻温度系数 氧化铟锡 CDH1 压阻效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈松岩
供职机构：厦门大学
研究主题：锗 键合 SI 键合界面 INP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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