2025年1月2日
星期四
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张锦
作品数:
137
被引量:224
H指数:8
供职机构:
西安工业大学光电工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点实验室开放基金
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相关领域:
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合作作者
冯伯儒
中国科学院光电技术研究所
蒋世磊
西安工业大学光电工程学院
孙国斌
西安工业大学光电工程学院
侯德胜
中国科学院光电技术研究所
宗德蓉
中国科学院光电技术研究所
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冯伯儒
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
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供职机构
所获资助
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蒋世磊
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 光学系统 干涉光刻 光阑 光学镜头
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供职机构
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研究领域
孙国斌
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 衍射光学元件 光阑 多光束干涉 磁控溅射
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供职机构
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研究领域
侯德胜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:相移掩模 光刻 激光直写 光刻掩模 衰减相移掩模
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研究领域
刘娟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:掩模 高速通信 光刻技术 光刻系统 微电子机械系统
发表作品
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研究领域
宗德蓉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:声光调制器 光刻系统 干涉光刻 声光器件 超声频率
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
陈芬
供职机构:宁波大学信息科学与工程学院
研究主题:立体视频 视点 图像 立体图像 结构相似度
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供职机构
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研究领域
弥谦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:离子能量 类金刚石膜 离子镀 类金刚石薄膜 光学薄膜
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供职机构
所获资助
研究领域
周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
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研究领域
郭永康
供职机构:四川大学物理科学与技术学院
研究主题:光刻 惯性约束聚变 全息图 分数傅里叶变换 干涉光刻
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