2025年1月31日
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刘伟娟
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7
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H指数:2
供职机构:
河北工业大学
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相关领域:
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
陈国栋
河北工业大学信息工程学院微电子...
王辰伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
洪娇
河北工业大学信息工程学院微电子...
杨志欣
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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陈国栋
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 非均匀性 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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洪娇
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:腐蚀电位 腐蚀电流 化学机械平坦化
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王傲尘
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:磨料 化学机械平坦化 CMP 去除速率 化学反应动力学
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李炎
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:聚苯胺 防腐涂料 磨料 涂料 聚苯胺复合
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张保国
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 蓝宝石 化学机械抛光 纳米级二氧化硅 阻挡层
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杨志欣
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:表面活性剂 BDD CMP 化学机械抛光 大分子
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张金
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液
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何彦刚
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 阻挡层 化学机械抛光 抛光表面 水溶液聚合
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