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朱煜

作品数：559 被引量：801H指数：15
供职机构：清华大学更多>>
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共 160 条 记 录，以下是 1-10
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
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尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
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徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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成荣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
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汪劲松
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
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段广洪
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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穆海华
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
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李鑫
供职机构：清华大学
研究主题：平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
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