2025年1月8日
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王岩
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14
被引量:35
H指数:5
供职机构:
北京航天控制仪器研究所
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国防基础科研计划
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相关领域:
交通运输工程
理学
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合作作者
邢朝洋
北京航天控制仪器研究所
庄海涵
北京航天控制仪器研究所
张玲
北京航天控制仪器研究所
王巍
中国航天
徐宇新
北京航天控制仪器研究所
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邢朝洋
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 微系统 MEMS 全硅 硅基
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庄海涵
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS陀螺 电极 刻蚀 硅 刚挠结合板
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张玲
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 谐振式 结构优化 模态分析 有限元分析
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王巍
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:光纤陀螺 陀螺仪 原子 气室 闭环光纤陀螺
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徐宇新
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:加速度计 电极 硅 MEMS加速度计 全硅
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胡启方
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 全硅 MEMS 标度因数 MEMS器件
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王超
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 标度因数 压板 惯性力 管壳
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刘国文
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS加速度计 加速度计 电极 三明治 温度稳定性
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张玲
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:精确制导 战争环境 转台 复杂电磁环境 信号解调器
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刘福民
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 电极 MEMS加速度计 晶圆 刻蚀
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