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邢朝洋

作品数:82 被引量:107H指数:7
供职机构:北京航天控制仪器研究所更多>>
发文基金:国防基础科研计划北京市自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
相关领域:交通运输工程自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术更多>>

文献类型

  • 54篇专利
  • 26篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 15篇自动化与计算...
  • 15篇交通运输工程
  • 10篇电子电信
  • 4篇航空宇航科学...
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 16篇封装
  • 16篇
  • 13篇键合
  • 12篇微系统
  • 10篇芯片
  • 9篇晶圆
  • 7篇陀螺
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇气室
  • 6篇全硅
  • 6篇加速度
  • 6篇加速度计
  • 6篇硅基
  • 6篇MEMS
  • 5篇圆片
  • 5篇三维封装
  • 5篇气体传感
  • 5篇气体传感器

机构

  • 78篇北京航天控制...
  • 4篇华中科技大学
  • 4篇中国航天
  • 2篇西安电子科技...
  • 2篇中国航天科技...
  • 1篇东南大学
  • 1篇北京工业大学
  • 1篇北京航天时代...

作者

  • 82篇邢朝洋
  • 35篇徐宇新
  • 21篇胡启方
  • 21篇庄海涵
  • 18篇刘福民
  • 14篇孙鹏
  • 11篇王岩
  • 10篇王巍
  • 10篇刘宇
  • 7篇梁德春
  • 7篇刘国文
  • 6篇朱政强
  • 6篇王玉良
  • 5篇李新坤
  • 5篇曾青林
  • 5篇王学锋
  • 5篇王超
  • 4篇张玲
  • 4篇刘院省
  • 4篇赵克

传媒

  • 11篇中国惯性技术...
  • 11篇导航与控制
  • 1篇航空学报
  • 1篇中国空间科学...
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇导航定位与授...
  • 1篇航天电子军民...

年份

  • 2篇2024
  • 3篇2023
  • 5篇2022
  • 5篇2021
  • 7篇2020
  • 11篇2019
  • 13篇2018
  • 17篇2017
  • 9篇2016
  • 4篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
82 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种横向MEMS压电-静电耦合能量采集器及加工方法
本发明公开了一种基于MEMS技术的横向振动能量采集器件。其包括静电采集单元和压电采集单元,两者不是单纯物理上的叠加而是进行了深度耦合。压电能量采集单元为静电能量采集单元提供其工作所必须的初始静电电荷从而使其摆脱了电池的束...
胡启方梅崴李男男杨博邢朝洋徐宇新庄海涵
线振动MEMS陀螺结构振动非线性特性研究
2018年
针对一种线振动微机电系统(MEMS)陀螺结构的振动非线性开展研究,利用理论方法推导、有限元仿真和扫频数据拟合得到了陀螺结构的非线性系数,根据达芬方程推导计算出非线性迟滞效应消失的临界激励以及对应的振幅阈值,为陀螺结构设计提供了理论指导。实验结果表明:非线性迟滞效应消失点和理论值相吻合。
苟元东王学锋庄海涵邢朝洋
一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置
一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置,包括双轴倾角传感器电路、电连接器和封装壳体;双轴倾角传感器电路包括X轴MEMS角度敏感器、Y轴MEMS角度敏感器、调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口电路,MEM...
孙鹏邱飞燕徐杰范冬青邢朝洋王玉良王增跃
文献传递
一种制备原子气室的原子分装器及原子气室的制备方法
本发明提供了一种制备原子气室的原子分装器及制备原子气室的方法,其中本发明的原子分装器,包括分装器主体、气室分支和碱金属源,其中,该分装器的主体采用玻璃圆盘结构,气室分支在圆盘面上形成圆对称分布,而碱金属源位于圆盘另一面的...
李新坤王巍刘院省王学锋邢朝洋
文献传递
大载荷下线振动微机械陀螺谐振频率漂移特性被引量:1
2013年
线振动MEMS陀螺在大载荷条件下,驱动轴与检测轴的谐振频率会发生漂移,频差随载荷变大。这类型振动陀螺为了提高灵敏度往往将两个振动轴的谐振频率设计得尽量靠近,但当角速率载荷较大时,两个振动轴的谐振频率将发生分裂漂移,彼此互相远离。漂移量与向心加速度无关,近似与角速率载荷的平方成正比,且两轴的谐振频率越靠近漂移越剧烈。考虑到Coriolis效应的弹簧质量块二维振动数学模型可定量描述该现象,表明此现象为线振动陀螺Coriolis效应的一部分。理论分析、仿真研究和实验数据的不同角度对这种频率漂移特性的分析结果吻合良好,为进一步结构优化奠定了理论基础。
王巍庄海涵邢朝洋
关键词:MEMS陀螺大载荷
高密度集成微惯性导航自主完好性监测
2024年
针对多平台、小型化、集群化等未来微小型空天飞行器故障信息自主监测等技术需求,提出了一种高密度集成微惯性导航自主完好性监测算法。该算法依托最优估计理论,分析微惯性导航系统中可能出现的量测误差信息源,通过优选子集数目进行预检验甄选,利用牛顿恒等式优化工程计算方法,达到微惯性导航系统故障信息检测与排除的目的。与传统MHSS算法相比,该算法能够显著降低系统的计算复杂度,并可有效检测小差错和多差错故障观测量,具有较高的故障信息源检测识别概率,增强了高密度集成微惯性导航与制导系统鲁棒性和完备性。
孟凡琛宋健民邢朝洋王巍
关键词:组合导航鲁棒性
一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法
本申请涉及一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法,包括包括依次电连接的第一无源转接板、第二无源转接板、第三无源转接板、第四无源转接板,第二无源转接板朝向第三无源转接板的表面电连接有第一有源芯片,第三无源转接板...
邢朝洋赵雪薇李男男孙鹏
一种MEMS器件圆片级真空封装方法
一种MEMS器件圆片级真空封装方法,步骤如下:(1)根据MEMS器件待引出的电极数量在低阻硅晶圆上刻蚀绝缘子的拓扑结构,单个拓扑结构中间的低阻硅用于MEMS器件的电学信号引出,记为低阻硅柱;(2)将上述拓扑结构氧化得到氧...
李男男胡启方刘福民邢朝洋庄海涵徐宇新王学亚孙俊强
文献传递
一种MEMS光开关
本发明公开了一种MEMS光开关,包括驱动模块、折叠梁、支撑梁、微反射镜、输入光纤和输出光纤,其中微反射镜位于支撑梁中间位置,支撑梁的两端设置有驱动模块,驱动模块侧面设置有折叠梁;沿支撑梁方向顺向排布的驱动模块为静电梳齿驱...
梅崴邢朝洋胡启方刘福民李昌政
文献传递
一种高密度集成无人机多任务时敏飞控导航系统及方法
本发明公开了一种高密度集成无人机多任务时敏飞控导航系统及方法,该系统包括:飞控导航运算处理模块、电源管理模块、多源感知测量模块、电调驱动模块、通信接口模块和带有安装孔的金属壳体;飞控导航运算处理模块、电源管理模块、多源感...
王巍孟凡琛邢朝洋孙鹏阚宝玺吴志刚陈巍
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