2024年10月31日
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严琼林
作品数:
6
被引量:9
H指数:2
供职机构:
上海大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
雷红
上海大学纳米科学与技术研究中心
布乃敬
上海大学纳米科学与技术研究中心
刘平
上海大学
褚风灵
上海大学
卢海参
上海大学
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雷红
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 抛光 磨粒 组合物
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布乃敬
供职机构:上海大学
研究主题:抛光 氧化铝 煤矸石 陶瓷 化学机械抛光
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刘平
供职机构:上海大学
研究主题:抛光 氧化铝 划痕 磨粒 氧化铁
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吴鑫
供职机构:上海大学
研究主题:抛光 计算机硬盘 化学机械抛光 表面抛光 表面光洁度
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褚风灵
供职机构:上海大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光
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卢海参
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 CMP 氧化铝 波纹度
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相关人物
供职机构
所获资助
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褚凤灵
供职机构:上海大学
研究主题:抛光 氧化铝 包覆层 磺酸基团 接枝共聚物
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所获资助
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肖保其
供职机构:上海大学
研究主题:抛光液 化学机械抛光 高精密 CMP 抛光
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