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褚风灵

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：上海大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇抛光
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇CMP

机构

  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇严琼林
  • 1篇卢海参
  • 1篇雷红
  • 1篇褚风灵

传媒

  • 1篇润滑与密封

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氧化铝复合磨粒的抛光特性研究被引量：6
2007年
为提高氧化铝磨料分散稳定性,利用接枝聚合对氧化铝粒子进行了表面改性,并研究了改性后氧化铝粒子在数字光盘玻璃基片中的化学机械抛光特性。结果表明,氧化铝复合磨粒的抛光性能与其表面接枝率密切相关。接枝率上升,材料去除速率下降;试验条件下,当接枝率为2.93%时,氧化铝磨粒体现出较高的表面平整性、较低的表面粗糙度及较低的表面损伤。
雷红卢海参严琼林褚风灵丘海能
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