严琼林
- 作品数：6 被引量：9H指数：2
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 纳米氧化铈复合磨粒抛光液的制备方法
- 本发明公开了一种纳米氧化铈复合磨粒抛光液的制备方法，本发明的特点是以无机研磨粒子为内核，以氧化铈包覆层为外壳，形成核/壳型结构的纳米氧化铈复合磨粒抛光液，属高精密抛光材料制备工艺技术领域。本发明抛光液的制备过程是：先用均...
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- 文献传递
- 氧化铝复合磨粒的抛光特性研究被引量：6
- 2007年
- 为提高氧化铝磨料分散稳定性,利用接枝聚合对氧化铝粒子进行了表面改性,并研究了改性后氧化铝粒子在数字光盘玻璃基片中的化学机械抛光特性。结果表明,氧化铝复合磨粒的抛光性能与其表面接枝率密切相关。接枝率上升,材料去除速率下降;试验条件下,当接枝率为2.93%时,氧化铝磨粒体现出较高的表面平整性、较低的表面粗糙度及较低的表面损伤。
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- 氧化铁复合磨粒的制备及抛光性能的研究
- 严琼林
- 氧化铝/氧化铁复合磨粒及其制备方法
- 本发明涉及一种氧化铝/氧化铁复合磨粒及其制备方法。该复合磨粒的内核为α-Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>，而包覆层为氧化铁，其中氧化铁的质量为α-Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub...
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- 文献传递
- 氧化铝/氧化铁复合磨粒及其制备方法
- 本发明涉及一种氧化铝/氧化铁复合磨粒及其制备方法。该复合磨粒的内核为α－Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>，而包覆层为氧化铁，其中氧化铁的质量为α－Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub...
- 雷红严琼林刘平布乃敬
- 文献传递
- 氧化硅/氧化铁复合磨粒用于硬盘基片的抛光研究被引量：3
- 2010年
- 本文以HNO3、NaOH、Fe(NO3)3和SiO2浆料为原料,采用沉淀法制备了1种SiO2/Fe2O3复合磨粒,通过X射线衍射仪(XRD)、飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)和扫描电子显微镜(SEM)对其结构进行表征,结果表明Fe2O3包覆到SiO2的表面,复合粒子具有很好的分散性.用UNIPOL-1502抛光机研究了所制备复合磨粒在镍磷敷镀的硬盘基片中的抛光性能,抛光后硬盘基片的表面粗糙度Ra由抛光前的8.87nm降至3.73nm;抛光后表面形貌的显微镜观测结果表明新制备的复合磨粒表现出较好的抛光性能.
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- 关键词：化学机械抛光
