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陆晶
作品数:
7
被引量:7
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所
龙世兵
中国科学院微电子研究所
陈宝钦
中国科学院微电子研究所
任黎明
北京大学信息科学技术学院微电子...
薛丽君
中国科学院微电子研究所
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龙世兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
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任黎明
供职机构:北京大学
研究主题:石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
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李泠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 晶体管 电极 介质层 沟道
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汤跃科
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学
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薛丽君
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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张立辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:单电子晶体管 电子束直写 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
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牛洁斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 衬底 电子束直写 衍射光栅
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李金儒
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
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