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谭刚

作品数:32 被引量:30H指数:3
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金:中国工程物理研究院科学技术发展基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程一般工业技术理学更多>>

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吴嘉丽
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 G值 LPCVD 多晶硅薄膜
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李仁锋
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 低压化学气相淀积 LPCVD
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席仕伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐海林
供职机构:中国工程物理研究院
研究主题:太赫兹 微陀螺 微机械陀螺 固有频率 微机械
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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沈朝阳
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 易加工 加速度计 极板 振梁加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚明秋
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度传感器 加速度传感器 压电层 固有频率 阳极键合
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李玉萍
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 锚点 微加速度传感器 热压键合 全金属
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程永生
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 仿真 极板 锚点 微加速度传感器
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王旭光
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:悬臂梁 极板 键合 超快激光 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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