2024年12月28日
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杨劲
作品数:
3
被引量:6
H指数:1
供职机构:
华南理工大学理学院应用物理系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
陈蒲生
华南理工大学理学院应用物理系
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陈蒲生
供职机构:华南理工大学理学院应用物理系
研究主题:SIO XN 介质膜 热氮化 PECVD法
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