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李俊峰
作品数:
500
被引量:7
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
赵超
清华大学
杨涛
中国科学院微电子研究所
殷华湘
清华大学
王桂磊
中国科学院微电子研究所
李俊杰
中国科学院微电子研究所
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赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
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杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 牺牲层
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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王桂磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 衬底 载流子迁移率 栅极
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所获资助
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罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 金属硅化物 沟道 衬底 半导体
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李俊杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 纳米线 电子设备
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刘金彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 掺杂 衬底 刻蚀
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高建峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 衬底 沟道 牺牲层
发表作品
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王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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所获资助
研究领域
贺晓彬
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
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