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刘宇
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46
被引量:2
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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核科学技术
交通运输工程
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所
张培文
中国科学院微电子研究所
张凯平
中国科学院微电子研究所
胡媛
中国科学院微电子研究所
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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供职机构
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研究领域
谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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相关人物
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所获资助
研究领域
张培文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:扩散炉 硅电池 硅 硅太阳能电池 电极
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张凯平
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掩模 光刻胶 磁隧道结 干法刻蚀 纳米级
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胡媛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:浮栅 存储器 硅衬底 非挥发性存储器 非易失存储器
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赵盛杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 光刻胶 金属氧化物 干法刻蚀 纳米级
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所获资助
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刘琦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 电路 电阻 非挥发性
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路程
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 磁隧道结 降低功耗 电路 电极
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吕杭炳
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 电阻 选通 微电子
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研究领域
李泠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 晶体管 电极 介质层 沟道
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