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张鲲
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H指数:4
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
宋朝辉
中国科学院上海微系统与信息技术...
鲍海飞
中国科学院上海微系统与信息技术...
罗乐
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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鲍海飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
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宋朝辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度计 高量程加速度传感器 量程 加速度传感器 测试装置
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罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
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陆德仁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
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杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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宋朝晖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:压阻 深反应离子刻蚀 高灵敏度 加速度传感器 绝缘工艺
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郑丹
供职机构:上海应用技术学院化学与环境工程学院
研究主题:微型质子交换膜燃料电池 MEMS技术 呼吸式 MEMS 多孔硅
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夏保佳
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:锂离子电池 储氢合金 微型质子交换膜燃料电池 电池 正极材料
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