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张鲲

作品数：29 被引量：49H指数：4
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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鲍海飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 高量程加速度传感器 量程 加速度传感器 测试装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗乐
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆德仁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝晖
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：压阻 深反应离子刻蚀 高灵敏度 加速度传感器 绝缘工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑丹
供职机构：上海应用技术学院化学与环境工程学院
研究主题：微型质子交换膜燃料电池 MEMS技术 呼吸式 MEMS 多孔硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏保佳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：锂离子电池 储氢合金 微型质子交换膜燃料电池 电池 正极材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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