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康晓辉

作品数：8 被引量：13H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王德强
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：X射线光刻 波带片 X射线 电子束 电子束直写
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范东升
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：纳米压印 纳米压印光刻 T型栅 压印 微细加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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张立辉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 单电子晶体管 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
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钟兴华
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI CMP 光刻胶 金属栅 平坦化
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邵红旭
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI 短沟道效应 热载流子效应 GATE 槽栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩郑生
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI 绝缘体上硅 电路 SRAM 建模方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨建军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：AR GATE BREAKDOWN SOI PARTIAL
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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