2025年1月31日
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田中俊
作品数:
16
被引量:47
H指数:3
供职机构:
中国科学院等离子体物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
胡纯栋
中国科学院等离子体物理研究所
刘胜
中国科学院等离子体物理研究所
闫昕
枣庄学院物理与电子工程系
黄晓兰
中国科学院微电子研究所
向采兰
清华大学信息科学技术学院微电子...
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刘胜
供职机构:中国科学院等离子体物理研究所
研究主题:离子源 中性束注入器 中性束注入 EAST 数据采集
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胡纯栋
供职机构:中国科学院等离子体物理研究所
研究主题:中性束注入器 EAST NBI 中性束注入 离子源
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王红丽
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 集成度 刻蚀 埋氧层
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供职机构
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黄晓兰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:高纯水 电阻率 ISO9002 统计过程控制系统 质量管理
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闫昕
供职机构:枣庄学院
研究主题:平面波展开法 太赫兹波 光子晶体 太赫兹波段 超材料
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供职机构
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向采兰
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:集成电路 计算机辅助制造 数据库 CAM MOS器件
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