2025年1月31日
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黄晓兰
作品数:
4
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
经济管理
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合作作者
向采兰
清华大学信息科学技术学院微电子...
王红丽
中国科学院微电子研究所
田中俊
枣庄学院物理系
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内蒙古师范大...
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中国质量
年份
1篇
2005
1篇
2002
1篇
1990
共
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高纯水电阻率检测仪
黄晓兰
检测集成电路生产中所使用的高纯水质量好坏的一个重要指标是水的电阻率。目前国内常用的仪表DDS-11A型电导率仪只能对一个测点进行测量,得到未经温度补偿的电阻率值。国外进口仪表也只能在近距离内对单点进行测量。而我们研制的这...
关键词:
关键词:
检测仪表
电阻测量
高纯水
运用统计分析工具解决质量问题
被引量:3
2002年
一、引言 中科院微电子中心的半导体生产前工艺线在贯彻ISO9002质量保证体系中,建立了一套闭环的统计过程控制(SPC)系统,利用控制图、工艺能力指数等手段来监视、评价半导体生产过程的运行状况.同时,还积极运用统计分析工具(如柏拉图、线形曲线拟合、相关性等)对一些质量问题进行分析,找出问题的根源,并以此加强相关参数的SPC控制,以预防类似现象的再次出现.
黄晓兰
关键词:
质量管理
ISO9002
统计过程控制系统
一种高纯水电阻率监测装置
一种能对多个供水点的高纯水电阻率进行集中循回监测的装置,它由分别设在各供水点的测试探头产生现场温度与纯水电阻率的模拟信号,经由循环开关与传输线循回采集,依次经过模-数转换、温度与电阻率换算以及标准温度电阻率换算等程序之后...
黄晓兰
文献传递
IC-CAM系统的自动定时报表
2005年
介绍了IC-CAM系统及其自动定时报表功能,以及实现定时报表的数据库触发器和过程的基本原理.通过实例给出用触发器和过程实现定时报表的工作过程.
田中俊
王红丽
黄晓兰
向采兰
关键词:
集成电路
触发器
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