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武晨光

作品数：3 被引量：14H指数：3
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

领域

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主题

  • 3个电磁驱动
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  • 3个电机
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  • 3个运动轨迹规划
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机构

  • 5个清华大学
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  • 1个西安交通大学
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资助

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传媒

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  • 1个半导体技术

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
黄利平
供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题：产品数据管理 PDM 仪器测试 并行工程 工程图学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张松
供职机构：清华大学
研究主题：微片激光器 干涉仪 微片 陶瓷烧制 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李恒
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：精密工作台 扰动观测器 气浮导轨 运动轨迹规划 超精密
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾松涛
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 微动工作台 精密工作台 气浮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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