2025年2月12日
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华卫群
作品数:
4
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团第五十八研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王铁坤
无锡微电子科研中心
蔡蕾
中国电子科技集团第五十八研究所
孙勇山
无锡微电子科研中心
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王铁坤
供职机构:中国电子科技集团第五十八研究所
研究主题:工艺用 热阻 纯水 超纯水系统 TOC
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蔡蕾
供职机构:中国电子科技集团第五十八研究所
研究主题:掺杂物 AMC 分子 净化厂 节能问题
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孙勇山
供职机构:无锡微电子科研中心
研究主题:纯水系统 纯水 工艺用 深亚微米
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