王铁坤
- 作品数：7 被引量：20H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第五十八研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信动力工程及工程热物理更多>>
- 螺纹管内污垢热阻的对比实验研究被引量：15
- 2009年
- 本文对一冷却塔中的7根螺纹管进行了长时间污垢实验研究。螺纹管几何参数范围:螺纹数18～45,螺纹角25°～45°,螺纹高0.33～0.55mm。污垢是颗粒污垢和析晶污垢的混合物。本文基于普朗特类比,引入修正因子β(β=(A_w/A_(wp))/(A_c/A_(cp)),A_w为润湿面积,A_c为截面积,下标p表示光管),对半经验污垢预测模型进行修正,证明了螺纹管内参数对污垢热阻的形成影响很大,并建立了不同结构参数的螺纹管的统一结垢模型,对工程实际有一定指导意义。
- 李蔚张巍李冠球张政江秦新安王铁坤徐志明
- 关键词：污垢热阻强化传热
- IC工艺用超纯水系统的TOC实验研究被引量：1
- 2003年
- 从运行管理角度,以实验方法考察了IC工艺用超纯水制造过程中TOC(总有机碳)的若干问题。通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的两套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的除去效率及其对TOC的影响。
- 王铁坤华卫群
- 关键词：IC工艺TOC总有机碳
- 洁净厂房正压控制问题讨论
- 2007年
- 文章重点探讨了洁净厂房的正压值的控制问题,讨论了正压值与洁净度以及温度湿度之间的关系。根据现有洁净厂房的生产条件,分析了正压值和洁净度以及温湿度不能达标的具体原因。探索了实际生产中正压值控制的方法,并验证了其可行性。
- 蒋茂潘国华王铁坤
- 关键词：洁净度温湿度正压过滤器
- 深亚微米工艺用二次纯水系统
- 2002年
- 本文介绍了深亚微米工艺用二次超纯水系统主要工艺流程及其各部分的作用。比较了一次纯水电阻率,二次纯水电阻率及二次纯水 TOC 含量的相互关系。讨论了半导体集成电路制造工艺对超纯水的水质要求以及水中杂质对半导体工艺的影响。
- 王铁坤华卫群孙勇山
- 关键词：深亚微米
- 板式换热器的污堵与清洗及其对能耗的影响被引量：2
- 2006年
- 文中从实际应用角度,叙述了板式换热器的特点和基本工作原理,讨论了换热器工作过程中的热阻问题,分析了换热器污堵后对换热性能的影响因素,并探索了解决污堵问题的方法。最后以数据统计的形式,描述换热器污堵和清洗与能耗的关系。实践证明,定期对换热器进行清洗是确保换热器工作性能正常和降低能耗最有效的方法。
- 秦新安王铁坤
- 关键词：板式换热器污堵热阻能耗
- 洁净厂房运行管理中的节能问题被引量：2
- 2005年
- 本文根据运行管理的实践体会,讨论了空调净化厂房运行管理中节能的若干问题。通过空气状态参数分析及其与空调能耗相互关系的探讨,在洁净空调厂房运行中采取了适当的节能措施,以确保在满足工艺生产要求的前提下,将空调能耗水平降到最低。文章最后以数据统计方式,考察了2003 年全年和2004年1月至7月同期的空调能耗状况,阐述了上述诸多节能措施的实际节能效果。
- 华卫群王铁坤蔡蕾
- 关键词：运行管理节能
- IC工艺用超纯水系统的TOC实验研究
- 本文针对IC工艺用超纯水,从运行管理角度,以实验方法考察了超纯水制造过程中TOC(总有机炭)的若干问题.通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的二套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的...
- 王铁坤华卫群
- 关键词：超纯水集成电路工艺
- 文献传递
